Оформите заказ, и мы свяжемся
с вами, или звоните
по тел.: +7 (499) 732-93-36
+7 (499) 753-08-17
Цену уточняйте у менеджера
Серия IPH Для Жестких Технологических Процессов
Особенности:
Применение:Особенности:
- Разработанный компанией HANBELL и 100% сделанный на Тайване
- экономия энергии на 25% по сравнению с предыдущей версией и оснащением зеленым режимом
- Терморегулирующее решение для предотвращения холодного плевка внутри насоса
- Оптимизируйте размер насоса, легко подключайте и работайте.
- Травление Имплантат
- HDP-CVD
- SACVD
- MOCVD
- PECVD
- LPCVD
- АЛЬД
Технический Данные:
|
Спецификация / Модель |
iPH100 |
iPH200 |
iPH610 |
iPH1210 |
iPH1220 |
iPH1820 |
|
|
Максимальная скорость откачки (м3/ч) |
120 |
200 |
700 |
1100 |
1250 |
1850 |
|
|
Предельное давление (Торр) |
7,5 х 10-3 |
7,5 х 10-4 |
|||||
|
Потребляемая мощность (кВт) |
2.1 |
3.5 |
2.6 |
3 |
4.5 |
4.7 |
|
|
Размеры (мм) |
L |
816 |
816 |
816 |
816 |
816 |
860 |
|
W |
390 |
390 |
390 |
390 |
390 |
400 |
|
|
H |
526 |
526 |
780 |
780 |
780 |
780 |
|