8 800 777 31 20
+7 (499) 732-93-36
+7 (499) 731-83-56
+7 (499) 753-08-17
Заказать звонок
Москва, Зелeноград,
Георгиевский проспект, 4c4,
завод «Ангстрем»на карте
Корзина пуста

Вакуумные турбомолекулярные насосы FF-160

Оформите заказ, и мы свяжемся
с вами, или звоните
по тел.: +7 (499) 732-93-36
+7 (499) 731-83-56

В корзину

Цену уточняйте у менеджера

Турбомолекулярный насос — один из видов вакуумных насосов, используемый для создания и поддерживания высокого вакуума. Принцип турбомолекулярного насоса основан на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки специальным вращающимся ротором. Структура ротора представлена системой дисков. Вакуум, создаваемый турбомолекулярным насосом, как правило, до 10-8 Па (10-10 мм рт. ст.). Скорость вращения ротора — десятки тысяч оборотов в минуту.

Для работы турбомолекулярный насос требует использования форвакуумного насоса. Турбомолекулярные насосы позволяют достигать состояния среднего, высокого и сверхвысокого вакуума с остаточными газами, молекулярная масса которых меньше 44.

Турбомолекулярный насос является, по сути, многоступенчатым осевым компрессором, роторные и статорные ступени которого снабжены плоскими лопатками, наклоненными вдоль радиуса. Во время вращения роторных ступеней с высокой скоростью происходит откачка молекул газа ввиду различной вероятности перехода через наклонные каналы ступеней в прямом и обратном направлениях.

Турбомолекулярный насос рассчитан на работу в условиях молекулярного режима течения газа. Для обеспечения работоспособности турбомолекулярного насоса необходимо гарантировать на выходе из его последней ступени молекулярный режим течения газа любым типом насоса для достижения предварительного разрежения (как правило, это достигается форвакуумным насосом) с последующим выхлопом в атмосферу. Молекулярный насос состоит из специальных молекулярных ступеней, установленных на одном роторе. Для его работы также возможно применение форвакуумного насоса (в зависимости от конструкций ступеней молекулярного насоса).

Наименование FF-63/70E FF-100/110E F-150/450 FF-160/620E FF-160/700E
Скорость откачки, л/с 62 110 450 600 700
Степень сжатия 2x106 (N2) 108 (N2) 108 (N2) 109 (N2) 109 (N2)
4x103 (H2) 5x102(H2) 102(H2) 6x103(H2) 6x103(H2)
Предельное давление, Па ISO: 5x10-5 ISO: 5x10-5  ISO: 6x10-6ISO: 6x10-6 ISO: 6x10-6 ISO: 6x10-6  ISO: 6x10-7 ISO: 6x10-7  ISO: 6x10-7ISO: 6x10-7
CF: 8x10-6CF: 8x10-6 CF: 6x10-7CF: 6x10-7 CF: 6x10-7CF: 6x10-7 CF: 6x10-8CF: 6x10-8 CF: 6x10-8CF: 6x10-8
Входной фланец ISO63, CF63 ISO100, CF100 ISO160, CF160 ISO160, CF160 ISO160, CF160
Выходной фланец KF16 KF25 KF40 KF40 KF40
Подшипники Керамические Керамические Керамические Керамические Керамические
Частота вращения ротора, об/мин 51000 42300 24000 36000 36000
Время запуска, мин <1,5 <2 <5 <6 <4
Уровень вибрации, мкм <0,1 <0,1 <0,1 <0,1 <0,1
Рекомендуемый форвакуумный насос, л/с 0,8-2 2 42220 42220 42220
Положение установки Любое Любое Вертикальное +-5° Вертикальное +-5° Любое
Тип охлаждения Водяное/воздушное Водяное/воздушное Водяное Водяное Водяное
Смазка Консистентная Консистентная Масло Масло Консистентная
Диапазон рабочих температур, оС 5-40 5-40 5-40 5-40 5-40
Масса, кг 3,5 (ISO), 4,8 (CF) 6 35 29 19

Габаритные размеры ff-160 Габаритные размеры ff-160 Габаритные размеры ff-160 Давление ff-160